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半导体晶体管器件及其形成方法 

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申请/专利权人:台湾积体电路制造股份有限公司

摘要:本发明的实施例公开了半导体晶体管器件及其形成方法。半导体晶体管器件包括沟道结构、栅极结构、第一源极漏极外延结构、第二源极漏极外延结构、栅极接触件和背面源极漏极接触件。栅极结构环绕沟道结构。第一源极漏极外延结构和第二源极漏极外延结构设置在沟道结构的相对端上。栅极接触件设置在栅极结构上。背面源极漏极接触件设置在第一源极漏极外延结构下方。第二源极漏极外延结构具有凹进的底面。

主权项:1.一种半导体晶体管器件,包括:沟道结构;栅极结构,环绕所述沟道结构;第一源极漏极外延结构和第二源极漏极外延结构,设置在所述沟道结构的相对端上,所述第二源极漏极外延结构具有凹形底面;背面源极漏极接触件,设置在所述第一源极漏极外延结构下方;以及背面介电帽,设置在所述第二源极漏极外延结构下方并且在所述栅极结构下方延伸。

全文数据:

权利要求:

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