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申请/专利权人:安徽芯塔电子科技有限公司
摘要:本发明公开了一种结型场效应晶体管器件,所述器件包括:Ⅰ-导电型漂移层;Ⅱ+导电型区,形成于Ⅰ-导电型漂移层内,中间位置的Ⅱ+导电型区的深度低于两侧的Ⅱ+导电型区;栅极欧姆接触区,形成于中间位置的Ⅱ+导电型区上,源极欧姆接触区,形成于两侧的Ⅱ+导电型区上;在Ⅰ-导电型为n-导电型时,Ⅱ+导电型即为p+导电型,在Ⅰ-导电型为p-导电型时,Ⅱ+导电型即为n+导电型。器件的栅极位于相邻的两个源极之间,并且栅极的Ⅱ+导电型区比源极的Ⅱ+导电型区更浅,使得器件的雪崩发生在源极的Ⅱ+导电型区。雪崩电流直接通过源极而不经过栅极,保护了栅极驱动电路。同时器件为平面结构,制作简单。
主权项:1.一种结型场效应晶体管器件,其特征在于,所述器件包括:Ⅰ-导电型漂移层;Ⅱ+导电型区,形成于Ⅰ-导电型漂移层内,中间位置的Ⅱ+导电型区的深度低于两侧的Ⅱ+导电型区;栅极欧姆接触区,形成于中间位置的Ⅱ+导电型区上,源极欧姆接触区,分别形成于两侧的Ⅱ+导电型区上;在Ⅰ-导电型为n-导电型时,Ⅱ+导电型即为p+导电型,在Ⅰ-导电型为p-导电型时,Ⅱ+导电型即为n+导电型;所述器件还包括:Ⅰ+导电型区,形成于两侧的Ⅱ+导电型区内,Ⅰ+导电型区的深度低于所在的Ⅱ+导电型区及中间位置的Ⅱ+导电型区;两侧的Ⅱ+导电型区与中间位置的Ⅱ+导电型区直接相对,相对的区域即为栅控导电沟道;所述器件还包括:Ⅰ+导电型衬底;形成于Ⅰ+导电型衬底上的Ⅰ+导电型缓冲层,Ⅰ-导电型漂移层形成于Ⅰ+导电型缓冲层上;漏电极,由欧姆接触及压块金属组成,欧姆接触与Ⅰ+导电型衬底接触,压块金属用于与外电路连接;所述器件还包括:场氧层,位于栅极欧姆接触区与源极欧姆接触区之间,场氧层的厚度高于栅极欧姆接触及源极欧姆接触的高度。
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百度查询: 安徽芯塔电子科技有限公司 一种结型场效应晶体管器件及其制备方法
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